2022年08月30日
電化製品に使用される半導体は微細な構造をしています。超臨界二酸化炭素は気体と液体の両方の性質を兼ね備えており、細部にまで浸透し半導体の微細構造を破壊しない気体に似た高拡散性と低粘性、汚れを溶解し除去する液体に似た溶解性を持つため、半導体の洗浄に使用されています。
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